氦质谱泄漏检测技术用于检测小型汽泵真空系统的泄漏，检查小型汽泵真空系统是否有泄漏部位及其泄漏程度，进一步提高设备泄漏检测效率，确保机组安全稳定经济运行。

氦质谱真空检漏技术的常见概念。

真空检漏是检测真空系统泄漏部位及其尺寸的过程。

漏气，又称实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流向低压侧的现象。

虚拟泄漏是一种相对真实泄漏的物理现象。这种现象是由于材料排气、吸收、冷凝气体再蒸发、气体通过壁渗透和系统死亡空间气体流出，导致真空系统气体压力上升的现象。

气密性是指真空系统器壁防止气体渗透的性能，包括通过漏孔(或间隙)和材料的渗透。

最小可检漏率是指某种检漏方法能检测到的漏率的最小值。

最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下能检测到的最小泄漏率。对于检漏仪器，最佳灵敏度也称为仪器灵敏度。

为了实施国家节能减排政策，电力行业必须提高发电机组运行的经济性。汽轮机组必须建立高真空，使蒸汽能够最大限度地将热焓转化为汽轮机的动能。在具体的电厂生产环境下，为了保证冷凝器有良好的真空，必须保证漏入汽轮机真空系统的空气尽可能少。汽轮机组的汽封性能、低压真空部分的泄漏点和泄漏量直接影响冷凝器的真空，这对冷凝器的经济性和安全性非常重要。

长期以来，许多电厂都存在汽轮机组真空系统严密性差的问题，由于泄漏检测手段不够先进，无法解决问题。此外，随着机组容量的不断增加，问题日益突出，极大地影响了机组的正常运行。氦质谱泄漏检测技术的出现可以发现泄漏点，从而保证机组真空严密性达到合格水平，从根本上消除泄漏造成的危害。

大型复杂系统的氦质谱泄漏检测一直是一项劳动强度高、专业质量要求高、耗时繁琐的任务。一些应用领域对泄漏检测结果的准确性也有很高的要求。由于大型真空系统响应时间长，通常需要持续施氦和监测时间长。为了实现泄漏的快速准确检测，有必要采用一种既不影响泄漏检测灵敏度，又能缩短泄漏检测时间，提高泄漏检测效率的方法。

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